Конечно, это крайний случай, но по мере того, как давление вакуума становится все ниже и ниже, даже самые, казалось бы, безопасные системы вскоре покажут себя менее чем герметичными. Герметичность (или отсутствие утечек) требуется по многим причинам, в том числе: для обеспечения и поддержания давления вакуума, для безопасности продукции, для экологических стандартов и для эффективности процесса. Есть два аспекта технологии утечки, которые стоит изучить: обнаружение утечки и измерение утечки.

Обнаружение утечек

При работе с вакуумным оборудованием от компании «ADBM.RU» различные вакуумные процессы и области применения требуют различных требований к скорости утечки. Действительно, то, что приемлемо при более низком вакууме, будет считаться совершенно неприемлемым (и, безусловно, крайне опасным) при более высоком уровне вакуума. Единственный надежный метод обнаружения утечек размером менее 1×10-6 мбар л/с — это гелиевый течеискатель. Диаметр утечки для 1×10-12 мбар л/с также является диаметром молекулы гелия и является наименьшей скоростью утечки, которую можно обнаружить.

Использования гелия

Гелий используется в качестве контрольного газа для обнаружения утечек по нескольким причинам. К ним относится тот факт, что он составляет всего 5 промилле в воздухе, так что фоновые уровни очень низкие. Гелий также имеет относительно низкую массу, поэтому он подвижен и полностью инертен. Гелий также негорюч и, как правило, широко доступен и дешев.

Проверяемый блок либо находится под давлением изнутри, либо находится под давлением гелия снаружи. Газ из любых потенциальных утечек собирается и закачивается в масс-спектрометр для анализа, и любое значение, превышающее фоновый след гелия, свидетельствует об утечке. Сам спектрометр работает следующим образом: любые молекулы гелия, всасываемые в спектрометр, будут ионизированы, и эти ионы гелия затем попадут в ионную ловушку, где анализируется и регистрируется ионный ток. На основе тока ионизации затем рассчитывается скорость утечки. Контрольное (или фоновое) значение для гелия является важной частью процесса. Это справочное значение обеспечивает «фоновый шум» для гелия, который можно рассматривать как уровень гелия в окружающей среде.